【寺】：
寺字最早见于西周金文。《说文解字》中对“寺”一字的定义：“寺，廷也。有法度者也。从寸之声。祥吏切。”当时的寺是用来表示官员的工作单位，比如唐朝的“大理寺”是作为官员上班的地方和国家重要权力机构。“鸿胪寺”最开始的时候负责外交工作，永平十年（67年），二位印度高僧（摄摩腾和竺法兰）应邀和东汉使者一道，用白马驮载佛经、佛像同返国都洛阳。汉明帝对二位高僧极为礼重，安排他们在当时负责外交事务的官署“鸿胪寺”暂住。永平十一年（68年），汉明帝敕令在洛阳西雍门外兴建僧院。为纪念白马驮经，取名“白马寺”。“寺”字即源于“鸿胪寺”之“寺”字，后来“寺”字便成了中国佛教寺院的一种泛称。
【庙】：
庙字最早出现也是在西周金文中。《祭法》中载：“庙之言皃[mào]也。宗庙者，先祖之尊皃也。”庙的意思是专门用来祭祀祖宗、鬼神的场所。祭祀祖宗（家庙也叫祠堂）；祭祀德高望重的圣人（孔庙）；祭祀历史上为国家做出过重大贡献的著名人物（关帝庙，岳王庙）；还有其他的民俗信仰（城隍庙，河神庙，土地庙，龙王庙，山神庙）等，目的就是为了可以得到他们的庇佑。庙还有“朝廷”的意思。
很多人的印象里认为寺和庙是没有区别的，但庙和佛教没有任何关系。寺现在一般都是供奉诸佛菩萨和举行佛教文化的场所；庙则是祭祀先祖、鬼神或者纪念国家民族英雄的地方。“寺”是宗教信仰；而“庙”是祖先崇拜。
【方丈】：
一丈（约等于3.33米）四方之室。又称方丈室、丈室。即寺院中住持的居室或客殿，也称函丈、正堂、堂头。古印度之僧房多以方一丈为制，“维摩禅室”亦依此制，遂有方一丈之说，转而指住持之居室。今演化为寺院住持，或对师父的尊称，俗称“方丈”或“方丈和尚”。
【住持】：
语义为“安住之、维持之”。原意指代佛传法、续佛慧命之人，后来被用来指称各寺院之主持者或长老。此词用在寺职称谓时，又称寺主或院主。由于住持之住处称为“方丈”，故“方丈”一词亦被引申为住持之意。
一般情况下只要有寺院就有住持，而方丈必须是上规模的寺院群才能有。方丈可以兼任多个寺院，而住持则不能。一般来说，方丈必须由所在省的宗教管理部门和佛教协会任命才能生效。
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